氮化铝薄膜结构和表面粗糙度的研究

• 作者: 张富强 武海顺 许小红 金志浩
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝薄膜 表面粗糙度 结构
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 394-397
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2190字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185X.2000.06.009

摘要

采用直流磁控溅射的方法,在Si(111)基片上沉积AlN(100)面择优取向薄膜,研究了溅射功率对AlN薄膜结构及表面粗糙度的影响.结果表明,随着溅射功率的增加,沉积速率增大,但薄膜结构择优取向度变差,表面粗糙度增大,这说明要制备择优取向良好、表面粗糙度小的AlN薄膜,需选择较小的溅射功率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许小红		52	298	10.0	13.0
3	武海顺		126	524	11.0	16.0
4	张富强		18	140	6.0	11.0
5	金志浩		325	5024	34.0	51.0