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通过对微波电场的分布控制产生高度均匀的ECR等离子体
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文献信息
| 篇名 | 通过对微波电场的分布控制产生高度均匀的ECR等离子体 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 蚀刻设备 等离子体源 微波电场 分布 控制 ECR 等离子体 | ||
| 年，卷（期） | dlztyyjskb_2000,（11） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 10-11 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TN405.98 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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期刊影响力
等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
864
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