一种扭摆式加速度计的结构

• 作者: 吴晓春 董景新 高钟毓
• 来源期刊: 清华大学学报（自然科学版）
• 学科: 交通运输
• 关键词: 扭摆式 微机械 加速度计
• 年，卷（期）: 2000,（8）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与机械学
• 页码范围: 81-84
• 页数: 4页
• 分类号: U666.122|V241.45
• 字数: 2241字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.2000.08.022

摘要

在传感器日趋微小型化的趋势下,该文提出一种扭摆式加速度计的结构.并对其进行了数学建模,分析了加速度输入时质量片扭转角的大小、力矩器产生的静电引力及支承梁的弯曲挠度和电容误差,给出了检测得到的加速度计的性能.结果表明,文中上述问题的分析思路是合理的,所设计加工出的加速度计试验样机已接近某些领域的实用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高钟毓	清华大学精密仪器与机械学系	79	637	14.0	21.0
2	董景新	清华大学精密仪器与机械学系	89	741	14.0	20.0
3	吴晓春	清华大学精密仪器与机械学系	1	14	1.0	1.0