硅微加速度计的接口检测电路的研究

• 作者: 冯培德 李万玉 罗晋生 阮爱武
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微加速度计 寄生电容 积分电路 电荷注入 相关双采样技术
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 170-172,185
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 1605字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2000.02.018

摘要

研究了微加速度计的电容变化率为10-7～10-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点.在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上,进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术,以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术.这些全新的技术思路和措施可望达到检测10-7～10-8的电容变化率的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗晋生	西安交通大学电子与信息学院	28	194	7.0	13.0
2	李万玉	航空工业总公司第618研究所七室	4	61	4.0	4.0
3	阮爱武	西北工业大学自动控制系	4	61	4.0	4.0
4	冯培德	西安交通大学电子与信息学院	1	14	1.0	1.0