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摘要:
介绍了日本三井东压化学开发的铜溅射聚酰亚胺薄膜的制法、性能、应用。
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文献信息
篇名 铜溅射聚酰亚胺薄膜
来源期刊 电子信息:印制电路与贴装 学科 工学
关键词 等离子溅射 聚酰亚胺薄膜 印制电路
年,卷(期) 2000,(9) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 9-10
页数 8页 分类号 TN304.054
字数 语种
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研究主题发展历程
节点文献
等离子溅射
聚酰亚胺薄膜
印制电路
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
印制电路资讯
双月刊
2070-8467
广东省深圳市南山区南山大道1088号南园
出版文献量(篇)
7384
总下载数(次)
15
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