改进微静电马达的摩擦与磨损

• 作者: 刘理天 李志坚 谭智敏 齐臣杰
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 微马达 台面法兰盘 磨损 摩擦
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TH13
• 字数: 1770字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2000.01.005

摘要

在微观结构中,摩擦及磨损严重地影响着部件的力学性能和可靠性.不同材料的摩擦系数相差很大,多晶硅和多晶硅之间的静摩擦系数约4.9,多晶硅和单晶硅之间的静摩擦系数约0.48～0.28、动摩擦系数约0.35～0.20,材料表面的粗糙度对摩擦系数影响也很大.鉴于此,提出了一种单晶硅台面结构晃动微马达,取代多晶硅表面微机械工艺制作的多晶硅法兰盘.它具有机械强度高、摩擦系数小、抗磨损、不塌陷等优点.马达的轴也加工成实心轴,克服了轴因磨损和受力而变形的问题.使得马达的寿命大大提高.摩擦力减少,马达性能改善,使马达的可靠性得到了较大的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	李志坚	清华大学微电子学研究所	84	451	11.0	15.0
3	谭智敏	清华大学微电子学研究所	18	114	7.0	9.0
4	齐臣杰	清华大学微电子学研究所	5	29	3.0	5.0