超光滑表面及其制造技术的发展

• 作者: 曹健林 朱镛 陈创天 高宏刚
• 来源期刊: 物理
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密加工 超光滑表面 抛光 粗糙度
• 年，卷（期）: 2000,（10）
• 所属期刊栏目: 物理学和高新技术
• 页码范围: 610-614
• 页数: 5页
• 分类号: TH706
• 字数: 5839字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2000.10.008

摘要

超光滑表面制造技术是超精密加工技术的一个重要分支.通过介绍超光滑表面的特征、应用及其制造技术的发展，希望给出超光滑表面技术的整体轮廓.在介绍超光滑表面的概念及其主要特征的基础上，通过典型例证指出了超光滑表面在软X射线光学、激光陀螺等科技领域的重要应用.回顾了超光滑表面制造技术的发展过程，对各种超光滑表面加工原理与方法进行了简单描述与评价，最后提出了对超光滑表面制造技术的发展趋势的观点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈创天	中国科学院北京人工晶体研究发展中心	42	447	11.0	20.0
2	朱镛	中国科学院北京人工晶体研究发展中心	8	172	6.0	8.0
3	曹健林	中国科学院应用光学国家重点实验室	37	328	10.0	17.0
4	高宏刚	中国科学院北京人工晶体研究发展中心	4	172	4.0	4.0