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摘要:
超光滑表面制造技术是超精密加工技术的一个重要分支.通过介绍超光滑表面的特征、应用及其制造技术的发展,希望给出超光滑表面技术的整体轮廓.在介绍超光滑表面的概念及其主要特征的基础上,通过典型例证指出了超光滑表面在软X射线光学、激光陀螺等科技领域的重要应用.回顾了超光滑表面制造技术的发展过程,对各种超光滑表面加工原理与方法进行了简单描述与评价,最后提出了对超光滑表面制造技术的发展趋势的观点.
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内容分析
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文献信息
篇名 超光滑表面及其制造技术的发展
来源期刊 物理 学科 工学
关键词 超精密加工 超光滑表面 抛光 粗糙度
年,卷(期) 2000,(10) 所属期刊栏目 物理学和高新技术
研究方向 页码范围 610-614
页数 5页 分类号 TH706
字数 5839字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0379-4148.2000.10.008
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈创天 中国科学院北京人工晶体研究发展中心 42 447 11.0 20.0
2 朱镛 中国科学院北京人工晶体研究发展中心 8 172 6.0 8.0
3 曹健林 中国科学院应用光学国家重点实验室 37 328 10.0 17.0
4 高宏刚 中国科学院北京人工晶体研究发展中心 4 172 4.0 4.0
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研究主题发展历程
节点文献
超精密加工
超光滑表面
抛光
粗糙度
研究起点
研究来源
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物理
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