多功能图像法轮廓自动瞄准技术的研究

• 作者: 刘国栋 张黎平 浦昭邦 赵辉 韩岩 马荃
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 图像自动瞄准 轮廓 电荷耦合器件(CCD)
• 年，卷（期）: 2000,（10）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TB9
• 字数: 2236字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2000.10.002

摘要

本文介绍通过电荷耦合器件(CCD)和计算机图像处理技术实现对轮廓的自动瞄准和对小尺寸试件直接测量.该技术对直线轮廓的瞄准精度达到0.25μm;对刻线的瞄准精度达到0.069μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	浦昭邦		108	1776	24.0	36.0
2	赵辉	哈尔滨工业大学自动化测试与控制系	42	514	12.0	21.0
3	刘国栋		79	1002	15.0	28.0
4	韩岩		7	13	2.0	3.0
5	张黎平		3	8	1.0	2.0
6	马荃		1	8	1.0	1.0