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方兴未艾的微机电系统
方兴未艾的微机电系统
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摘要：
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微机电系统技术及其应用
微机电系统
组成及特征
材料特性及加工工艺
应用领域
片上系统与微机电系统
片上系统
微机电系统
市场分析
电子信息
微机电系统的发展与应用
MEMS
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微机电系统
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电子世界
主办单位：
中国电子学会
出版周期：
半月刊
ISSN：
1003-0522
CN：
11-2086/TN
开本：
大16开
出版地：
北京市
邮发代号：
2-892
创刊时间：
1979
语种：
chi
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36164
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