多重嵌套悬臂梁结构磁致动微机械偏转器

• 作者: A.M.Robinson B.Shen W.Allegretto 胡明
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁 微机械 磁致动 偏转器
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 122-123,117
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.05
• 字数: 1108字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2000.02.035

摘要

设计并制做了一种新型多重嵌套悬臂梁结构的磁致动微机械偏转器.偏转器由1.2 μm CMOS工艺和各向异性腐蚀工艺制成.致动原理是电流与磁场的相互作用在悬梁上产生罗仑兹力.测量了偏转器的静态和动态特性.测量结果表明,这种微偏转器的特点是可双向偏转且偏转角度大且具有快的时间响应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡明	天津大学电子信息工程学院	139	1336	19.0	28.0