电子工艺

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 电子工艺 微机械加工技术 超短激光脉冲 表面微机械加工 情报通信 绝缘材料 激光处理 论文摘要 硬质材料 电子器件
• 年，卷（期）: 2000,（12）
• 页码范围: 38-39
• 页数: 2页
• 分类号: TN

摘要

【正】 Y2000-62079-383 0020130激光微机械加工=Laser micromachining[会,英]//1999 IEEE Conference on Lasers and Electro-Optics.—383～385（F）本部分收录3篇论文摘要。内容包括硬质材料的混合激光处理,超短激光脉冲对脆绝缘材料造成破坏的域值和加工技术,掺铁 LiNbO₃中光致刻蚀失败。