表面轮廓的白光干涉测量法

• 作者: Bowe.,B 唐永滋
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 白光干涉测量学 相干区域 表面形状测量
• 年，卷（期）: ygjs_2001,（5）
• 页码范围: 33-38
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.3

摘要

本文介绍一种采用白光干涉仪进行三维表面形状测量的光学系统。近年来出现了许多不同的方法来分析白光干涉测量法测得的表面轮廓数据。目前还使用许多种商品化的白光表面轮廓测量仪。我们详细介绍了一种组表面轮廓的简单方法，即采用两种简单而有效的算法。这种方法处理数据快速、简单，因而减少了数据搜寻和分析的时间。该系统具有不受限制的理论工作范围，对粗糙和平滑的光学表面进行形状测量。