团簇沉积C-N薄膜的研究

• 作者: 俞国庆 张志滨 徐洪杰 朱德彰 潘浩昌 郑志豪 阎逢元 陈景升
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 团簇沉积 碳氮薄膜 结构
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 页码范围: 433-438
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1807字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2001.06.001

摘要

利用荷能团簇沉积装置在高阻硅(111)衬底上沉积了碳氮薄膜。通过红外光谱、拉曼谱和X光电子能谱对薄膜的结构和化学组分进行了分析。结果表明，薄膜中存在N-sp3C(β-C3N4的键合方式)，但以N-sp2C和C=C双键的结合方式为主。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阎逢元	中国科学院兰州化学物理研究所	74	1110	20.0	30.0
2	徐洪杰	中国科学院上海原子核研究所	56	438	10.0	19.0
3	俞国庆	中国科学院上海原子核研究所	6	9	2.0	3.0
4	朱德彰	中国科学院上海原子核研究所	26	83	5.0	8.0
5	潘浩昌	中国科学院上海原子核研究所	6	10	2.0	3.0
6	陈景升	中国科学院上海原子核研究所	4	6	2.0	2.0
7	张志滨	中国科学院上海原子核研究所	3	5	2.0	2.0
8	郑志豪	华东师范大学物理系	2	6	2.0	2.0