提高实时调焦伺服系统性能的一种新方法

• 作者: 熊木地 肖文礼 邢忠宝
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 实时调焦 BP神经网络 线性化处理 动态非线性补偿 频带估算
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 1-5,56
• 页数: 6页
• 分类号: TN206
• 字数: 3534字
• 语种: 中文

摘要

对二元光学元件激光直写设备实时调焦伺服系统的要求与实现方法进行了较为全面的介绍,并分析了影响调焦伺服系统性能的主要因素.提出了采用BP神经网络对离焦信号进行线性化处理,同时采用压电陶瓷作为执行元件,并进行动态非线性补偿;可大大提高调焦伺服系统的精度与带宽.同时,在线估算离焦信号的带宽,以此调节刻划的速度,可大大提高刻划的效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢忠宝	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	34	206	9.0	12.0
2	熊木地	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	43	3.0	5.0
3	肖文礼	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	43	3.0	4.0