柔性铰链放大器的设计与加工技术

• 作者: 刘德忠 宇惠平 王波 许意华 费仁元
• 来源期刊: 北京工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钠米定位 压电微位移器件 柔性铰链 线切割
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 161-163
• 页数: 3页
• 分类号: TH 16
• 字数: 1887字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0037.2001.02.006

摘要

为弥补压电陶瓷微位移器件伸长量过小的缺陷,设计了一种结构紧凑、无传动间隙、无附加位移耦合的柔性铰链微位移放大器,以满足大行程纳米定位的需要. 详细讨论了柔性铰链放大器的工作原理、设计方法和加工技术关键.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	费仁元	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	178	2686	26.0	42.0
2	许意华	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	7	109	4.0	7.0
3	刘德忠	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	49	520	13.0	21.0
4	王波	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	80	638	11.0	23.0
5	宇惠平	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	1	45	1.0	1.0