利用LIGA技术研制超微步进电机

• 作者: 伊福廷 张菊芳 彭良强 韩勇
• 来源期刊: 北京同步辐射装置：英文版
• 学科: 工学
• 关键词: LIGA 超微步进电机 微机械系统 微加工技术 研制 光刻 电铸 塑铸
• 年，卷（期）: bjtbfszzywb,（2）
• 页码范围: 93-95
• 页数: 3页
• 分类号: TM383.6

摘要

文章慨述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镀照片等。该电机的转于和定于由LIGA技术制造完成．线圈由手工在显微镑下绕制完成，转子直径2mm．整个电机直径5mm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭良强	中国科学院高能物理研究所	24	141	7.0	11.0
2	张菊芳	中国科学院高能物理研究所	21	136	6.0	11.0
3	韩勇	中国科学院高能物理研究所	67	1000	16.0	30.0
4	伊福廷	中国科学院高能物理研究所	38	150	6.0	10.0