基于LIGA工艺的微齿轮误差特点

• 作者: 代俊 石庚辰
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: LIGA 微齿轮 误差
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 59-64
• 分类号: TJ410.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1194.2010.04.012

摘要

不同加工方法所产生的误差会有不同特点,鉴于未见MEMS领域误差特点研究的文献,采用采样设计对比法检测了微型齿轮的齿顶圆半径偏差、齿根圆半径偏差、齿厚偏差和齿形误差.对误差进行的统计表明:LIGA工艺加工微齿轮和微齿轮孔的误差偏向均为负向,且加工微齿轮孔的误差要大于微齿轮,设计复杂孔和轴时预留的单边余量应为15 μm.分析表明,这些特点与加工方法导致的误差产生原因是吻合的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石庚辰	机电工程与控制国家级重点实验室北京分部	8	108	6.0	8.0
2	代俊	机电工程与控制国家级重点实验室北京分部	1	2	1.0	1.0