MEMS引信部件LIGA制作工艺及其问题分析

• 作者: 吴志亮 张合 朱继南 黄新龙
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: MEMS 引信 LIGA 工艺
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 页码范围: 48-51,56
• 页数: 5页
• 分类号: TJ43|TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1194.2008.05.014

摘要

探讨了包括标准LIGA技术,UV-LIGA技术在内的MEMS引信部件的制作方法,给出了使用现有LIGA技术加工MEMS引信部件的流程、存在的问题以及解决方案,对MEMS引信设计提出了基于工艺制作的要求和思考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张合	南京理工大学机械工程学院	187	1217	15.0	23.0
2	吴志亮	南京理工大学机械工程学院	5	119	4.0	5.0
3	朱继南	南京理工大学机械工程学院	14	226	9.0	14.0
4	黄新龙	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	3	49	3.0	3.0