PTFE快速定位系统研究

• 作者: 余国彬 姚汉民 胡松
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: PTFE材料 压力-真空平衡气足 工件台
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 论文研制报告
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1919字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2001.02.004

摘要

介绍了采用压力-真空平衡气足作支承、PTFE材料作导轨的工件台的组成,并对气足的设计计算进行了讨论.最后给出了所研究的工件台的检测结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡松	中国科学院光电技术研究所	93	705	12.0	24.0
2	姚汉民	中国科学院光电技术研究所	44	355	9.0	16.0
3	余国彬	中国科学院光电技术研究所	22	129	7.0	10.0