电子工业专用设备期刊
出版文献量(篇)
3731
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电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉:
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
100029
地址:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
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  • 作者: 李少鹏 陈才佳
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  1-4
    摘要:
  • 作者: 田芳
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  5-7,42
    摘要: 论述了晶圆叠层3D封装中的典型工艺——晶圆键合技术,并从晶圆键合原理、工艺过程、键合方法、设备要求等方面对其进行了深入探讨;以期晶圆叠层3D封装能够应用到更加广泛的领域.
  • 作者: 梁国衡
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  8-11
    摘要: 采用精密微量点胶技术、自动化控制、UV干燥技术和机械结构设计等技术结合,开发一种高速高精度的片式绕线电感塑封设备.系统通过采用以胶带为载体、撞针式微胶量控制的点胶阀、机械夹持元件传送方式、U...
  • 作者: Andy Ben Erik Karen Robert Scott
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  12-20,24
    摘要: 3D硅通孔技术增加电路密度、降低功耗、提高带宽的优势在业内已得到广泛的认可.随着3D TSV技术的迅速发展,对于测试成本的优化就显得尤为突出,现有的测试方法已提出了很多挑战3D TSV技术的...
  • 作者: 江国中 王学军 蒋云龙
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  21-24
    摘要: 线痕是多线切割领域比较常见的问题之一,分类总结了各种线痕产生的原因,并提出了相应的解决方法.
  • 作者: 唐超凡 王娟 颜秀文
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  25-29,38
    摘要: 太阳能电池测试分选设备用于晶体硅太阳能单体电池的性能测试和自动分选,位于太阳能电池生产的最后一道工序,由上料台、定位机构、传送装置、测试座、分选机构、太阳模拟器、控制系统等部分组成.介绍了中...
  • 作者: 张继静 魏鹏
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  30-33
    摘要: 基于超声扫描显微镜,在基本的反射扫描方式基础上开发出厚度测量扫描方式.作为实验室中的无损测厚工具,可以精确测量器件或器件中某材料层的厚度.
  • 作者: 曹国斌 李永珍 王晓奎
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  34-38
    摘要: 概述了激光干涉仪在半导体工艺设备精度分析领域的应用,简单介绍了光路准直对线性测长的影响.依据激光干涉仪的准直测量原理,详细介绍了激光干涉仪准直的调节方法.
  • 作者: 吴学宾 王明亮 胡孝伟 蒋云龙
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  39-42
    摘要: 设计了多线切割机的悬臂系统,主要包括电气箱、转接块、显示器、警示灯、方管、圆管组成.针对多线切割机在使用中存在的噪声偏大,高转速下的振动影响产品品质稳定问题,通过Cosmosworks分析软...
  • 作者: 祝福生
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  43-45,65
    摘要: 介绍了LED湿法清洗设备CDS的组成及工作原理,对化学液配、补液的实现方法进行了探讨,给出了利用流量传感器提高配、补液精度的解决方案.
  • 作者: 李国林 邴守东
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  46-50
    摘要: 阐述了不完全微分PID算法的原理,以及两种微分算法的数学推导算式与控制输出作用比较,并对其进行了相应的MATLAB仿真实验,取得了较好的控制效果.
  • 作者: 孙永超 尚美杰 崔杰 柴亮
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  51-54
    摘要: 阐述了机器视觉的定义,主要研究了模板匹配算法,并将其应用到半导体设备中.通过大量实验对基于形状和灰度的两种模板匹配算法进行了验证和分析,最后得出各种算法的使用条件和优缺点.
  • 作者: 张敏杰 杨生荣 王仲康
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  55-58
    摘要: 介绍了一种减薄机关键零件弹性铰链的零件性能及材料选择,分析了零件的加工工艺流程、工艺难点,制定了相应的工艺路线.最后对加工后的零件安装在设备上进行了工艺验证.该零件的成功应用为其他类似弹性铰...
  • 作者: 孙永超 尚美杰 李金涛 柴亮
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  59-61,65
    摘要: 介绍了直线电机的应用领域及其实用前景,并对直线电机的工作原理做了具体的分析,重点研究了电机力常数的一种快速测定法,并通过实验验证了该方法的可行性与有效性.
  • 作者: 于丽娜 蒋云龙
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  62-65
    摘要: 分析了机器视觉系统光路中鬼像的来源及危害,给出了怎样利用光学设计软件ZEMAX进行鬼像分析.以某机器视觉系统为例详细阐述并列举了消除机器视觉系统鬼像的一般方法.
  • 作者:
    发表期刊: 2013年1期
    页码:  66-69
    摘要:
  • 作者: 于燮康
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  1-3,7
    摘要:
  • 作者: 李燕玲 韦薇
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  4-7
    摘要:
  • 作者: 蔡颖
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  8-9
    摘要:
  • 作者: 中国半导体行业协会封装分会
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  10-12,46
    摘要:
  • 作者: 王春青 田艳红
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  13-14,16
    摘要:
  • 作者: 田晶
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  15-16
    摘要:
  • 作者: A.N.Alexeev D.M.Krasovitsky S.I.Petrov V.P.Chaly
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  17-20,64
    摘要: 有关结果表明,在氨分子柬外延STE3N2系统中,以极高的温度(1 100-1 150℃)让氮化铝缓冲层进行增长是为DHFET(双异质结构场效应晶体管)通道获得高品质GaN(氮化镓)层的关键步...
  • 作者: 周畅 章磊
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  21-24,54
    摘要: 对先进封装步进投影光刻机的焦深进行评估.投影光刻机是IC制造与先进封装行业的关键设备,对后道封装而言,厚胶工艺是典型工艺,最厚部分可达0.1mm以上,大焦深能够保证光刻机容纳各种工艺误差,能...
  • 作者: 吴振锋
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  25-29
    摘要: 介绍了薄膜电容环氧封装工艺和整个封装工艺设备结构,并将其生产工艺划分为5个功能区.为提高设备适应性、简化控制系统结构、降低设备成本和维护费用,在控制系统中引入DeviceNet现场总线控制技...
  • 作者: 杜和武 贾静波 黄惜和 黎松
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  30-32,54
    摘要: 以乙烯基硅油、乙烯基硅树脂、含氢硅油等为基体树脂,CaCO3为主要填料,气相二氧化硅为促变剂,制备了COB模块光源用围坝胶,研究表面改性二氧化硅对围坝胶的增稠和触变性的影响.结果表明:经表面...
  • 作者: 徐存良 陈波
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  33-37
    摘要: 在CMP设备中,大盘的整体性能直接影响抛光后晶圆的表面质量和整体面型精度.分析了三种大盘的受力结构,选择应用交叉圆锥滚子轴承的结构为最优.给出了抛光大盘的陶瓷台面的温度控制水道的三个分布模式...
  • 作者: 张敏杰 杨生荣 王仲康 王克江 衣忠波
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  38-42
    摘要: 针对金刚石线切割机切割线高速往复运动下,要求张力稳定的特点,提出了一种切割线恒张力闭环控制方法.该方法通过建立张力系统数学模型,进行了切割线运行力矩分析、加减速变化和卷径变化、运行速度对张力...
  • 作者: 钱立文
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  43-46
    摘要: 电气用塑料薄膜要求进行电弱点测试,研制的薄膜电弱点测试仪,具有多重保护功能及输出电压自动回归零位控制,保证了系统的安全性;放卷臂安装有磁粉制动控制器,保证了走膜均匀平稳;测试电压全量程线性显...
  • 作者: 吕磊 田知玲 胡晓霞
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  47-50
    摘要: 介绍了双面飞针测试设备的测试方法,以及各方法在测试过程中的数据处理;针对飞针测试工艺流程,详细介绍了飞针测试过程中的主要控制技术.

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith_epe@sohu.net
电话 010-64443110,64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

期刊荣誉
1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

电子工业专用设备统计分析

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