模板匹配算法在半导体设备中的应用

• 作者: 孙永超 尚美杰 崔杰 柴亮
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体设备 机器视觉 模板匹配
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 电子专用设备研制
• 页码范围: 51-54
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2848字
• 语种: 中文

摘要

阐述了机器视觉的定义,主要研究了模板匹配算法,并将其应用到半导体设备中.通过大量实验对基于形状和灰度的两种模板匹配算法进行了验证和分析,最后得出各种算法的使用条件和优缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尚美杰	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	4	1.0	1.0
2	柴亮	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	4	1.0	1.0
3	孙永超	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	10	2.0	3.0
4	崔杰	中国电子科技集团公司第四十五研究所	1	2	1.0	1.0