超声扫描显微镜的厚度测量方法

• 作者: 张继静 魏鹏
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 超声扫描显微镜 厚度测量 扫描方式
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 测试测量技术与设备
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TN307
• 字数: 1405字
• 语种: 中文

摘要

基于超声扫描显微镜,在基本的反射扫描方式基础上开发出厚度测量扫描方式.作为实验室中的无损测厚工具,可以精确测量器件或器件中某材料层的厚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张继静	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	23	2.0	4.0
2	魏鹏	中国电子科技集团公司第四十五研究所	7	5	1.0	2.0