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摘要:
介绍了LED湿法清洗设备CDS的组成及工作原理,对化学液配、补液的实现方法进行了探讨,给出了利用流量传感器提高配、补液精度的解决方案.
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文献信息
篇名 LED湿法清洗设备CDS设计
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 集中供液系统(CDS) 泵浦输送 双套管
年,卷(期) 2013,(1) 所属期刊栏目 电子专用设备研制
研究方向 页码范围 43-45,65
页数 4页 分类号 TN305.97
字数 2446字 语种 中文
DOI
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作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 祝福生 中国电子科技集团公司第四十五研究所 15 29 3.0 5.0
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研究主题发展历程
节点文献
集中供液系统(CDS)
泵浦输送
双套管
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
出版文献量(篇)
3731
总下载数(次)
31
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10002
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