激光干涉仪线性测长的准直调节方法

• 作者: 曹国斌 李永珍 王晓奎
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 光路准直 精密测量
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 测试测量技术与设备
• 页码范围: 34-38
• 页数: 5页
• 分类号: TH705
• 字数: 3219字
• 语种: 中文

摘要

概述了激光干涉仪在半导体工艺设备精度分析领域的应用,简单介绍了光路准直对线性测长的影响.依据激光干涉仪的准直测量原理,详细介绍了激光干涉仪准直的调节方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹国斌	中国电子科技集团公司第二研究所	13	70	2.0	8.0
2	王晓奎	中国电子科技集团公司第二研究所	6	8	2.0	2.0
3	李永珍	中国电子科技集团公司第二研究所	3	19	2.0	3.0