基于MEMS的光开关研发与产业化问题

• 作者: 王海容 蒋庄德 赵则祥
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光开关 微镜 MEMS 研发 产业化
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 74-78
• 页数: 5页
• 分类号: TN915.0|TP271+.4:TN209
• 字数: 4611字
• 语种: 中文

摘要

针对MEMS光开关的相关技术问题,就国内外基于MEMS光开关的研发及其产业化概况以及我国与国外在该领域中存在的差距进行了阐述和分析.给出了加快我国基于MEMS光开关研发与产业化的几点建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
2	王海容	西安交通大学精密工程研究所	29	262	10.0	15.0
3	赵则祥	西安交通大学精密工程研究所	8	100	7.0	8.0