微机电系统的微观摩擦学研究进展

• 作者: 任天辉 余新良 余来贵 刘维民 邓昭 饶文琦
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微观摩擦学 表面改性 薄膜 超润滑
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 评述与进展
• 页码范围: 494-498
• 页数: 5页
• 分类号: TH117.3
• 字数: 4687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0595.2001.06.023

摘要

对微机电系统的微观摩擦学研究现状进行了综述,介绍了在微机电系统中摩擦学呈现的各种新特征,以及材料、环境和不同工况条件对微机电系统运行稳定性的影响.从微观摩擦学角度探讨了微机电系统的润滑问题,介绍了表面改性和薄膜润滑等在解决微机电系统润滑问题方面的研究现状, 并对相关领域的工作进展进行了总结和展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余来贵	中国科学院兰州化学物理研究所	23	671	13.0	23.0
2	任天辉	上海交通大学化学化工学院	62	617	14.0	22.0
3	刘维民	中国科学院兰州化学物理研究所	307	5597	38.0	57.0
4	饶文琦	上海交通大学化学化工学院	5	167	5.0	5.0
5	邓昭	上海交通大学化学化工学院	2	67	2.0	2.0
6	余新良		1	60	1.0	1.0