表面技术在电子器件生产中的应用

• 作者: 张博 朱有兰
• 来源期刊: 广东工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 表面技术 电了薄膜 溅射 封装 气相沉积
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 67-71
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 4659字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7162.2001.03.015

摘要

综述了电子器件生产中广泛采用的几种表面技术,评价了其优缺点,并对表面技术在电子薄膜中的研究与应用作了简要概述,提出表面技术在电子工业中的发展方向与前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张博	广东工业大学"材料与能源学院	8	18	2.0	4.0
2	朱有兰	广东工业大学"材料与能源学院	22	127	7.0	10.0