SrBi2Ta2O9薄膜的制备和铁电性能研究

• 作者: 周志刚 徐静平 朱丽丽 王耘波 郭冬云
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电薄膜 SBT sol-Gel法
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 13-14,49
• 页数: 3页
• 分类号: TQ59
• 字数: 1672字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-5624.2001.04.004

摘要

用一种新的低温过程制备了srBi2Ta2O9铁电薄膜.在Sol-Gel方法中用Pt/Ti/SiO2/si作衬底,研究了薄膜的结构和电特性.srBi2Ta2O9薄膜在淀积Pt上电极之前和之后都要退火,第一次退火在760乇氧压下600℃时退火30分钟,在第二次退火后薄膜结晶良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐静平	华中科技大学电子科学与技术系	88	358	9.0	13.0
2	周志刚	华中科技大学电子科学与技术系	17	124	6.0	11.0
3	王耘波	华中科技大学电子科学与技术系	68	398	10.0	16.0
4	郭冬云	华中科技大学电子科学与技术系	13	163	6.0	12.0
5	朱丽丽	华中科技大学电子科学与技术系	2	3	1.0	1.0