SPM图像模拟、表面重建及探针估计

• 作者: 党学明 陈宇航 鲁健 黄文浩
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 工学
• 关键词: 图像模拟 数学形态学 扫描探针显微镜 表面重建 探针估计
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 649-653
• 页数: 5页
• 分类号: O793|TN16
• 字数: 2073字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.2001.05.023

摘要

扫描探针显微镜获得的图像是样品和探针共同作用的结果,它只是被测样品实际形貌的近似描述,所以进行定量的SPM图像模拟、探针估计和表面重建工作十分必要.本文分析比较了几种SPM图像处理的算法,且应用数学形态学方法给出了一些典型表面的图像模拟、表面重建以及探针估计的结果,这在样品表面形貌的精确探测以及纳米计量中均有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲁健	中国科学技术大学精密机械及精密仪器系	12	125	6.0	11.0
2	陈宇航	中国科学技术大学精密机械及精密仪器系	20	96	6.0	8.0
3	黄文浩	中国科学技术大学精密机械及精密仪器系	88	768	14.0	23.0
4	党学明	中国科学技术大学精密机械及精密仪器系	5	51	4.0	5.0