微型泵的驱动技术

• 作者: 丁辛芳 刘岩海
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微型泵 MEMS 驱动技术
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 87-92
• 页数: 6页
• 分类号: TN21
• 字数: 2045字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2001.01.014

摘要

本文通过对近几年来各类微型泵研究的比较，从微型泵设计的关键技术——驱动方式的角度进行考虑，着重以压电致动泵、热气致动泵、电磁致动泵和记忆合金振膜泵等微型泵进行讨论。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁辛芳	东南大学微电子中心	4	29	3.0	4.0
2	刘岩海	东南大学微电子中心	3	15	2.0	3.0