单晶金刚石抛光研究

• 作者: 王成勇 郭钟宁 陈君 陈春林
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 抛光机理
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 金刚石/制品
• 页码范围: 17-20，24
• 页数: 5页
• 分类号: TG73
• 字数: 2459字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2001.05.004

摘要

单晶金刚石被广泛应用于超精密加工工具、电子探针和光电子领域.抛光金刚石是获得光滑无缺陷金刚石表面的基本手段.本文全面介绍了单晶金刚石抛光机理和抛光工艺的研究进展.分析了磨粒机械破碎、机械-化学去除、机械-热化学去除、氧化化学和机械-电去除等理论,对提高金刚石及金刚石薄膜的平整抛光效率和质量有较高的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭钟宁	广东工业大学机电工程学院	197	1090	16.0	23.0
2	王成勇	广东工业大学机电工程学院	186	2516	26.0	39.0
3	陈君	广东工业大学机电工程学院	9	65	4.0	8.0
4	陈春林	广东工业大学机电工程学院	5	80	4.0	5.0