微系统制造中的3维微成形技术

• 作者: 侯丽雅 章维一 董涛
• 来源期刊: 南京理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微小机械 制造工艺 立体造型
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 318-322
• 页数: 5页
• 分类号: TP297
• 字数: 4017字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9830.2001.03.021

摘要

该文提出了微系统的定义,指出了它区别于宏系统、微电子系统的特点及这些特点对微成形技术的影响.分析了作为现阶段微系统主流制造技术的微电子IC工艺的优缺点;评述了LIGA、DRIE、微浮雕、RPM 4种3维微成形法;指出了如何将其组合以适应微光学系统、微流体系统、微机构等商品化的配套需要;提出了微系统中值得研究的若干课题群.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯丽雅	南京理工大学制造工程学院	96	977	17.0	26.0
2	董涛	南京理工大学制造工程学院	18	227	8.0	14.0
3	章维一		1	13	1.0	1.0