基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺

• 作者: 丁玉成 卢秉恒 张亚军 段玉岗 王权岱
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 压印光刻 分层制造 微电子机械系统 对正
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 页码范围: 946-949
• 页数: 4页
• 分类号: TH162.1|TH163
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2005.09.009

摘要

针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2 μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢秉恒	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	387	5973	36.0	56.0
2	丁玉成	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	128	1941	23.0	39.0
3	段玉岗	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	54	368	13.0	16.0
4	王权岱	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	12	83	6.0	9.0
5	张亚军	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	6	92	5.0	6.0