微电子机械系统中典型构件的力电耦合分析及其应用研究

• 作者: 崔云俊 张为斌 方竞 昌盛 沈健 王丛舜
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微电子机械系统 力电耦合 残余应力 阈值电压
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统的设计与数值模拟
• 页码范围: 503-506
• 页数: 4页
• 分类号: TH11
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.023

摘要

力电耦合是大多数微电子机械系统(尤其是以静电驱动的微机械)的重要特征.文中采用有限元(FEM)结合边界元(BEM)的方法来混合求解MEMS中的力电耦合问题,利用自行研制的程序给出了几种典型构件(平行板、悬臂梁和固支梁)的分析结果,并同其他商业软件(ANSYS和Intellisuite)的计算结果进行比较.同时,还将这种分析方法应用到微继电器的设计和MEMS构件残余应力的检测中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方竞	北京大学力学与工程科学系	31	369	11.0	18.0
2	王丛舜	北京大学力学与工程科学系	3	42	2.0	3.0
3	张为斌	北京大学力学与工程科学系	1	29	1.0	1.0
4	崔云俊	北京大学力学与工程科学系	1	29	1.0	1.0
5	沈健	北京大学微电子学研究所	1	29	1.0	1.0
6	昌盛	北京大学微电子学研究所	1	29	1.0	1.0