微电子机械系统中多能量场耦合问题仿真分析

• 作者: 林胜勇 高行山
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 能量场耦合 数值仿真
• 年，卷（期）: 2001,（z1）
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TH703.8|TP391.9
• 字数: 3951字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2001.z1.010

摘要

在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中,微系统数值仿真分析是一个重要研究领域.本文对MEMS中多能量场耦合仿真问题的各种数值分析方法进行了综合评述.分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高行山		56	412	12.0	18.0
2	林胜勇		10	83	6.0	9.0