1nm级表面粗糙度的双频激光测量系统

• 作者: 张新宝 李柱 谢铁邦 赵斌
• 来源期刊: 华中科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 1nm级表面粗糙度 双频激光 共外光路 激光光外 差
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TH161
• 字数: 2891字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2001.11.003

摘要

研究了一种基于共外光路双频激光光外差原理的1 ?nm级表面粗糙度的测量系统.从理论上论证了测量系统的原理和测量精度,并用实验结果证明了测量系统的分辨率.此测量系统没有测量基准误差,对测量环境要求不特别苛刻,适用于精密或超精密表面形貌的轮廓测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李柱	华中科技大学机械科学与工程学院	41	763	16.0	26.0
2	谢铁邦	华中科技大学机械科学与工程学院	92	848	17.0	24.0
3	赵斌	华中科技大学机械科学与工程学院	50	329	11.0	14.0
4	张新宝	华中科技大学机械科学与工程学院	21	140	7.0	11.0