通信领域中的微机械谐振器件

• 作者: 章彬 黄庆安
• 来源期刊: 通信学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微加工 谐振器 滤波器 谐振梁 耦合梁 Q值
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 新技术展望
• 页码范围: 102-108
• 页数: 7页
• 分类号: TN703|TN305
• 字数: 4497字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-436X.2001.05.018

摘要

无线通信的发展要求系统中的无源器件小型化,以实现系统单片集成.微加工技术制作的无源器件不仅可以满足小型化要求,而且在300kHz到14.5MHz频段内,其品质因子(Q值)可高达50 000.鉴于此,本文以表面加工技术、体加工技术以及键合技术制作的MEMS谐振器以及由它和耦合梁组成的滤波器为重点,介绍了它们的工作原理、设计和制作方法,最后讨论了在高频范围内制约MEMS谐振器件工作性能的因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄庆安		35	415	12.0	19.0
2	章彬		5	28	3.0	5.0