复合腔结构微机械高Q谐振器研究

• 作者: 李应良 潘武 陈艳
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械谐振器 复合腔 薄膜微带线 耦合缝
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳科学与技术
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 分类号: TN752
• 字数: 2448字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z1.011

摘要

设计了一种具有高品质因数和小尺寸的12.12 GHz的新颖复合腔结构的微机械谐振器,获得了相关测试数据.将高介电常数材料填入微机械复合腔结构,解决限制高Q值的介质损耗问题.谐振腔的馈电通过具有2个特征阻抗为50Ω的微带线与耦合缝实现,通过优化耦合缝位置和微带线参数,提出有利于微小结构的馈电解决方案.利用AnsoftHFSS软件对谐振器的电磁特性参数作了仿真分析.利用标准微细加工工艺在硅片上制造此复合结构谐振器和相关电路,利用键合技术完成结构组装,获得较光滑腔壁,降低损耗和提高谐振器性能.此类谐振器将为现代无线通信系统提供一种低成本、小尺寸以及制造平面型窄带滤波器和双工器的微型化解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李应良	重庆邮电学院微光机电系统研究所	8	60	4.0	7.0
2	潘武	重庆邮电学院微光机电系统研究所	63	272	8.0	13.0
3	陈艳	重庆邮电学院微光机电系统研究所	12	32	2.0	5.0