WC-Co硬质合金表面不同去钴预处理方法的比较研究

• 作者: 丁振峰 俞世吉 邬钦崇 马腾才
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: WC-Co硬质合金 去钴预处理 氢-氧等离子体
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 71-73,70
• 页数: 4页
• 分类号: TG113.251
• 字数: 2476字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.01.018

摘要

用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)制备金刚石薄膜涂层之前，采用盐酸、硝酸化学腐蚀和氢-氧等离子体对WC-Co硬质合金(YG6)基体表面进行去钴预处理。扫描电子显微镜形貌观察和X射线衍射谱分析都表明，与化学腐蚀方法相比，氢-氧等离子体处理具有独特的表面去钴效果，沉积金刚石薄膜的喇曼谱分析更证实其对涂层质量的改善，且对MWPCVD过程而言有其技术上的一些优越性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁振峰	大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室	13	32	4.0	4.0
2	马腾才	大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室	81	688	15.0	21.0
3	俞世吉	大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室	6	20	3.0	4.0
4	邬钦崇	中国科学院等离子体物理研究所	18	105	7.0	9.0