磷扩散过程近基区杂质Ga重新分布行为研究

• 作者: 修显武 张晓华 裴素华
• 来源期刊: 中国学术期刊文摘
• 学科: 工学
• 关键词: Ga 重新分布 最终分布
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 1454-1456
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.4
• 语种: 中文

摘要

应用扩展电阻(SRP)分析方法,研究了磷再分布过程近基区杂质Ga的重新分布状态,近而明确经二次高温扩散之后,Ga在Si中的最终分布行为.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	裴素华	山东师范大学半导体研究所	27	70	6.0	7.0
2	修显武	山东师范大学半导体研究所	15	21	2.0	4.0
3	张晓华	山东师范大学半导体研究所	6	3	1.0	1.0