静电场耦合微机电系统的动态模型

• 作者: 高钟毓
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 静电场耦合 动态模型
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 工程技术应用
• 页码范围: 97-101
• 页数: 5页
• 分类号: TM3
• 字数: 3191字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0577-6686.2001.03.024

摘要

研究静电场耦合微机电系统(Micro electromechnical systems,简记为MEMS)的动态模型问题.首先,给出了耦合静电场的输入/输出两端点对模型,讨论了微机电系统的独立变量对的选择与分析方法.其次,叙述了所研制的典型微结构,包括SEM照片、有限元分析的振动模态,以及简化模型.第三,分析了MEMS传感器系统的静电场与静电力表达式、动力学方程,以及开环和闭环传递函数.第四,给出了MEMS传感器系统的实测频率特性和等效模型参数,并且根据以上分析和试验结果,提出了几点有重要意义的结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高钟毓	清华大学精密仪器与机械学系	79	637	14.0	21.0