区熔再结晶制备多晶硅薄膜太阳电池

• 作者: 励旭东 姬成周 李维刚 许颖
• 来源期刊: 北京师范大学学报(自然科学版)
• 关键词: 区熔再结晶 多晶硅薄膜 太阳电池
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 页码范围: 746-749
• 页数: 4页
• 分类号: M914.4+2
• 字数: 1874字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0476-0301.2001.06.008

摘要

研究了区熔再结晶(ZMR)设备及其工艺特点.在覆盖SiO2的重掺P型单晶硅衬底上用快速热化学气相沉积(RTCVD)在其上沉积一层很薄的多晶硅薄膜,用区熔再结晶法对薄膜进行处理,得到了晶粒致密,且取向一致的多晶硅薄膜层.以此薄膜层为籽晶层,再在上面以RTCVD制备电池活性层,经过标准的太阳电池工艺,得到了转换效率为10.21%,填充因子为0.691 3的电池产品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许颖	北京市太阳能研究所光电室	39	349	12.0	17.0
2	李维刚	北京师范大学低能核物理研究所	4	21	2.0	4.0
3	励旭东	北京师范大学低能核物理研究所	7	28	3.0	5.0
4	姬成周	北京师范大学低能核物理研究所	10	28	3.0	5.0