非接触式压力微传感器的设计

• 作者: 褚丹雷
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 压力微传感器 MEMS 扰度 硅梁
• 年，卷（期）: 2001,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2796字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2001.12.002

摘要

就如何利用MEMS技术,实现压力微传感器的设计进行详细论述.该传感器利用特殊的机械结构,大大改善了传统接触式压力传感器,工作区域狭小,线性度较差等问题,使压力传感器在高载荷条件下,由小扰度向大扰度过渡时,不产生非线性跳变,从而大大提高了器件的稳定性与动态特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚丹雷	厦门大学机电工程系	4	27	2.0	4.0