微小尺寸测量中的图像处理技术

• 作者: 于水 何存富 李庆祥 李罗生 白立芬
• 来源期刊: 清华大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 微小尺寸测量 小波变换 同相多次累积 去噪
• 年，卷（期）: 2001,（8）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与机械学
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TH74|TN911.73
• 字数: 3024字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.2001.08.012

摘要

图像质量是影响光学显微系统微小尺寸测量精度的一个重要原因.介绍了测量系统的组成和工作原理,以及光学系统设计上保证成像质量的一些措施,探讨了提高图像质量和测量精度的方法.采用小波进行图像去噪,很好地去除了图像传输和存储过程中引入的高频噪声; 为了进一步提高测量精度,采用同相累加平均的方法,滤除随机信号的影响.实验结果表明可满足超大规模集成电路线宽测量的要求,测量重复精度达到了0.01 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密仪器及机械学系	84	2180	20.0	45.0
2	白立芬	清华大学精密仪器及机械学系	23	478	10.0	21.0
3	于水	清华大学精密仪器及机械学系	11	184	5.0	11.0
4	李罗生	清华大学精密仪器及机械学系	3	56	3.0	3.0
5	何存富	清华大学精密仪器及机械学系	3	26	1.0	3.0