硅基驻极体微型声-电传感器的研究现状

• 作者: 夏钟福 张冶文 朱伽倩 邱勋林
• 来源期刊: 电声技术
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 驻极体 微型化
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 所属期刊栏目: 扬声器与传声器
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 分类号: TP21
• 字数: 3630字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8684.2001.07.005

摘要

综述了近20年来硅传感器研究工作的现状与进展.硅微型传声器具有小尺寸(振膜面积约为1 mm2量级),由于极薄的振膜厚度(＜1 μm)导致其低振动灵敏度,传感单元的可集成化和传感器与放大器的一体化工艺,以及由于应用刻蚀工艺的器件制作的低成本等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张冶文	同济大学波尔固体物理研究所	77	666	15.0	23.0
2	夏钟福	同济大学波尔固体物理研究所	79	508	12.0	19.0
3	邱勋林	同济大学波尔固体物理研究所	23	139	6.0	10.0
4	朱伽倩	同济大学波尔固体物理研究所	3	30	3.0	3.0