辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜

• 作者: 于威 傅广生 张连水 李晓苇 王淑芳 韩理
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 直流辉光放电 碳氮薄膜
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 2263-2268
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3221字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.11.042

摘要

利用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长了碳氮薄膜.通过扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱等多种手段,对薄膜的形貌、成分、晶体结构、价键状态等特性进行了分析和确定.结果表明,沉积薄膜为含有非晶SiN和晶态氮化碳颗粒结构,晶态成分呈多晶态,主要为a-C3N4相、βC3N4 相,晶粒大小为40-60nm.碳氮之间主要以C-N非极性共价键形式相结合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晓苇	河北大学物理科学与技术学院	136	473	10.0	13.0
2	韩理	河北大学物理科学与技术学院	39	204	8.0	11.0
3	傅广生	河北大学物理科学与技术学院	184	817	13.0	17.0
4	于威	河北大学物理科学与技术学院	91	346	9.0	13.0
5	张连水	河北大学物理科学与技术学院	86	284	9.0	12.0
6	王淑芳	河北大学物理科学与技术学院	16	24	3.0	4.0