移相式数字光学轮廓仪的研制

• 作者: 于瀛洁 陈明仪 韦春龙
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 移相干涉技术 干涉显微镜 数字光学轮廓仪
• 年，卷（期）: 2001,（z2）
• 所属期刊栏目: 测量与控制装置研究
• 页码范围: 145-146
• 页数: 2页
• 分类号: TH7
• 字数: 1253字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2001.z2.071

摘要

相移干涉技术是表面轮廓测量领域中得到了广泛应用的可实现高精度测量的技术方法.本文将相移干涉技术与上海光学仪器厂的6JA型干涉显微镜结合起来,研制成功了移相式数字光学轮廓仪,其测量范围0.5nm～1um,精度达到了σ＜0.05nm(Ra),σ＜0.7nm(P-V).由于相关技术的突破,该仪器可以对多种材料、多种轮廓形状的表面实现测量,并得到了较好的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学延长校区精密机械工程系	80	791	16.0	24.0
2	陈明仪	上海大学延长校区精密机械工程系	29	266	11.0	15.0
3	韦春龙	上海大学延长校区精密机械工程系	5	55	3.0	5.0