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摘要:
基于伺服控制理论,介绍一种新型超精密直线运动工作台.精密工作台的底部和四周共设置九个主动空气支承,普通机械导轨拖动,除运动方向外其余五维位置姿态由两只四光束激光探头进行测量,并将测量值送控制器与目标值比较,驱动压电陶瓷致动补偿空气膜厚度随外部干扰变化对运动精度的影响.系统固有误差作预处理后,运动精度主要取决于传感器的精度而得到有效的提高.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 主动控制空气静压精密直移工作台系统的研究
来源期刊 华中科技大学学报(自然科学版) 学科 工学
关键词 空气支承 激光探头 伺服控制 运动精度
年,卷(期) 2001,(10) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 59-61
页数 3页 分类号 TH16|TH133|TG580
字数 1849字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1671-4512.2001.10.020
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 文振华 中南大学铁道校区机电工程学院 11 33 4.0 5.0
2 李国顺 中南大学铁道校区机电工程学院 14 197 4.0 14.0
3 傅勤毅 中南大学铁道校区机电工程学院 31 236 7.0 15.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
空气支承
激光探头
伺服控制
运动精度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
华中科技大学学报(自然科学版)
月刊
1671-4512
42-1658/N
大16开
武汉市珞喻路1037号
38-9
1973
chi
出版文献量(篇)
9146
总下载数(次)
26
总被引数(次)
88536
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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