半导体与微电子技术

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子技术 工件台 生物芯片 半导体 快速定位 设计计算 专用设备 传感器技术 系统研究 电子工业
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 页码范围: 20-20
• 页数: 1页
• 分类号: TN

摘要

【正】 0118418PTFE 快速定位系统研究[刊]/余国彬//电子工业专用设备.—2001,30(2).—14～16(D)介绍了采用压力-真空平衡气足作支承、PTFE 材料作导轨的工件台的组成,并对气足的设计计算进行了讨论。最后给出了所研究的工件台的检测结果。参40118419基于 MEMS 技术的 PCR 生物芯片的研究[刊]/赵湛//传感器技术.—2001,20(6).—56～59(D)