侵彻武器用MEMS大g值加速度计

• 作者: 屈新芬 苏伟
• 来源期刊: 兵工自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 大g值加速度计 电容传感器 微机电系统(MEMS) 侵彻武器
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器研究与开发
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 3204字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1576.2002.03.003

摘要

侵彻武器穿入地面等坚硬物质的加速度可达重力加速度的2万倍至几十万倍,要求所用加速度传感器既能抗击该工作环境,又能识别冲击与钻入的整个过程.美国侵彻武器用MEMS大g值加速度计属电容传感器,其工作原理采用2个电参数完全相同的电容,1个作检测电容,1个作参考电容,将被测加速度值的变化转换成电容量的变化而实现.该加速度计由结构单元和信号处理电路组成.实验结果表明,尚需对2组成部分进一步集成,对机械静电阻尼进行优化,对封装深入研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
2	屈新芬	中国工程物理研究院电子工程研究所	23	256	8.0	15.0